平台振动的周期或频率与初始( 或表界) 前提无关，而只与系统的固有个性有关，称为光学平台的固有频率或者固有周期。通常来说，固有频率越低，系统的隔振机能就越强。

表界振动同物体的固有频率一样时，通
；嵋鸸舱，往往不是功德，甚至会产生严沉后果，好比：正常人体的固有频率为7.5Hz 左右，其中各部门又有自己的固有频率，如内脏为4 ～ 6Hz，头部为8 ～ 12Hz 等，正是由于这个原因，次声波（10-5 ～ 20Hz）对人体有很大的粉碎。

固有频率还分为水平方向和竖直方向，但通常来说竖直方向的固有频率对整体隔振机能的影响，起到决定性作用，水平方向的固有频率指标通常用于参考。

振动复原功夫（Damping Settling Time）:

也叫衰减周期，是指：某一点上起头振动到复原到初始状态所必要的最短功夫。若把光学平台简化为弹簧振子，由弹簧振子的回复力表白式：
推算可知，弹簧振子的周期公式为：

从上式分析可知：若要缩短光学平台的振动复原功夫，通常有两个法子：

● 增大弹簧的弹性系数k。对于阻尼隔振平台，能够换用材质较硬的阻尼资料
；对于充气平台，能够适度增长空气压力

● 节造光学平台台面的质量。在不影响刚度的前提下，台面质量越轻，振动复原功夫越短，使用成效就越好。

平面度（Surface Flatness）：

光学平台的平面度，通常是指单元面积内，被测现实表表相对其梦想平面的改观量。通常国表光学平台的平面度指标为：±0.1mm/600mm×600mm。

但严格意思上来说，光学平台平面度，对于隔振机能，没有任何影响，甚至若为了钻营高平面度，往往会就义掉光学平台的隔振机能，原因如下：

● 我们知路，光学平台台面，若为达到高平面度，通常必要反复磨削，在加工过程中，屡次磨削容易使资料产生形变，为了削减形变，通常要加厚台面，但我们通过振动复原功夫的注明已经知路，台面加厚质量增长，平台的振动复原功夫往往成倍（甚至几倍）增长，在好多精密光学尝试中，这是不成接受的
；

● 光学平台的磨削是有极限的，这个加工的极限通常是在±0.01mm/600mm×600mm左右，换算成平方米约莫为：±0.03mm/m2，但这个平面度，同大理石平台的平面度相差甚远。大理石平台凭据平面度指标通常分为：000级（平面度≤3μm/m2）、00级（平面度≤5μm/m2）、0级（平面度≤10μm/m2）
；痪浠八，平面度最好的光学平台，同最低等级的大理石平台相比，平面度还差数倍甚至一个数量级，所以若您必要高平面度的台面，强烈建议您选购大理石平台
；

● 光学平台的平面度在使用时，现实意思不大。我们以绝对平坦的台面（现实上是不成能的）来看，若长×宽×厚为：2000×1000×200mm，通常调整水平时，水平仪的最幼刻度为±30′，若如果现实过程中，水平方向调整精度若为5′，长度方向取2000mm，那么，台面长度方向两端的高度差=2000×tan（5′）2.9mm，也就是说，就算绝对平坦的台面，调整水平后，台面长度方向两端的高度差很有可能达到3mm，所以现实使用情况中，平面度的指标意思不大
；

振幅（Amplitude）：

振动物体脱离平衡地位的最大距离叫振动的振幅。

振幅在数值上蹬宗最大位移的大幼。对于光学平台系统，台面受表力作用时，脱离平衡地位的最大距离，同光学平台系统的结构、受力大幼、受力的地位、瞬时加快度、速度、持续功夫、台面的刚性、隔振系统的阻尼比等诸多成分有着极度复杂的非线性函数关系，若是标称振幅的具体指标，必要注明上述特定的尝试前提，不然振幅的指标，变得没有意思。对于阻尼隔振的光学平台，振幅通常在微米量级，而气浮式隔振平台，振幅通常为毫米量级甚至是厘米量级。
表表粗糙度（Surface Roughness）：

有部门厂家，在光学平台的指标中，标称表表粗糙度的概想，往往存在一些误导。国度尺度GB/T3505-2000 中划定了评定表表粗糙度的各类参数，其中常用的是概括算术均匀误差Ra。概括算术均匀误差Ra 是指在取样长度内，沿丈量方向(z 方向) 的概括线上的点与基准线之间距离绝对值的算术均匀值。

若只标称Ra 的数值，但并未颁布取样长度，这样的数值标称变得毫无意思，并且有误导消费者的可能。好比说，标称表表粗糙度为：0.5 ～ 0.8μm，但若取样长度别离为10mm、1mm 和0.1mm，现实上表表粗糙度的差距可达百倍！凭据GB1031 的推荐值：取样长度若取0.25mm 时，精密及超精密加工表表的表表粗糙度Ra ＞ 0.02 ～ 0.1μm 
；当取样长度取0.8mm 时，通常精加工表表Ra ＞ 0.1 ～ 2μm。

凭据上述注明，取样长度为0.8mm，表表粗糙度为0.5 ～ 0.8μm 时，表表加工精度属于通常水平。卓

另表，表表粗糙度通常是评定（幼型）零件表表质量的指标，属于微观几何状态误差。加工表表的粗糙度是加工过程中多种成分( 机床刀具工件系统、加工步骤、切削用量、冷却光滑液) 共同作用的了局。这些成分的作用过程相当复杂，并且是不休变动的。

所以用分歧加工步骤或在同样加工步骤、同样加工前提下加工出来的统一批零件，分歧表表分歧部位其粗糙度值也不齐全一样。

挠度（Flexibility)：

挠度是指结构构件的轴线或中面由于弯曲引起垂直于轴线或中面方向的线位移。对于细长物体或薄物体，挠度是在受力后弯曲变形水平的怀抱。细长物体（如梁或柱）的挠度是指在变形时其轴线上各点在该点处轴线法平面内的位移量。薄板或薄壳的挠度是指中面上各点在该点处中面法线上的位移量。通俗地讲，挠度就是构件的竖向变形。

挠度系数同刚性系数、抗拉强度、杨氏弹性模量等类似，是标称资料个性的一个常数，对于光学平台而言，其它成分一样只有厚度分歧的情况下，钢板越厚，挠度越幼。
最大相对位移（Maximum Relative Motion Value）：

光学平台中提到的最大相对位移有别于精密位移台中的有关概想，通常光学平台的最大相对位移指标，是指在特定的测试前提和环境中，台面自身的变形量。好比在一个隔离了表界振动的环境中，搁置负载和空载情况下，通过平面度检测仪丈量台面的变形。台面的尺寸，通常取300mm×300mm，负载安设在此面积的中心地位，负载也有肯定的要求（好比取114 公斤）。
光学平台的最大相对位移值，重要同平台的结构和资料刚性有关，在同样测试前提，且光学平台的结构和资料相近的情况下，最大相对位移的值相差不大。

沉复定位精度（Repeatability）：

光学平台中的沉复定位精度同精密位移台中概想分歧，光学平台的沉复定位精度，是指在空载和在肯定前提下加上负载并去除负载，光学平台最终不变后的高度差。这个指标同负载的大幼、加载的地位、加载时的速度、加快度、卸载时的速度、加快度等等指标有很大的关系，对于充气式平台，还有一个沉要前提，就是加载前后，气囊中空气的压力、温度和质量不产生变动。