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减振器测试汇报：TK1X

减振器测试汇报：TK1Y

减振器测试汇报：TK1Z









THS3高端型减振器使用万向球式设计的水平减振器，可能使固有频率更低，所以垂直和水平方向的减振机能更好。
将精密(士0.05mm)调平阀安设在减振器上，可达到较高的沉复性精密度。
在THS3系列减振器均可配表置型油阻尼，搭载运动平台的设备稳按功夫得以缩短，减振器刚性提升。




Product introduction

Multi-directional ball-type design makes the natural frequency of the vibration isolation system lower,thus results in better performance in both vertical and horizontal direction.

For better repeatability, precision leveling valves of 0.05mm should be installed.

THS3 series can be used with external oil damper, it will shorten the settling time of the moving platform and increase the stiffness of the system.

产品结构注明：

减振方式：气浮减振

固有频率（满负载及低落心下测得）：垂直/水平=1.2-2Hz
10Hz减振率：90-99%
自动调整水平:是
调整水平沉复性：1、尺度调整精度±1.0mm  2、高精度调整精度±0.05mm

Isolation type: pneumatic
Natural frequency: vertical/ horizontal =1.2-2Hz
Isolation performance: 90-99% at 10Hz
Automatic leveling: Yes

产品用处：

面板设备、光学设备、检测设备、半导体设备、医疗设备、航天军工设备、精密运动平台等。

The panel industry, optical equipment, testing equipment, semi-conductor equipment, medical equipment, aerospace and military equipment, precision moving platform.

利用案例