产品个性：

THS4减振器因其内部阻尼室的空间更大，所以能提供更杰出的减振及衰减机能，且稳按功夫远优于光学平台。










减振方式：气浮减振

固有频率（满负载及低落心下测得）：垂直/水平=1.5-2HZ

10Hz减振率：90-99%

自动调整水平:是

调整水平沉复性：

1、尺度调整精度±1.0mm

2、高精度调整精度±0.05mm

产品结构注明：

在垂直和水平方向提供水平的减振机能。THS4减振器选取两室系统，用节流孔将气室与阻尼室相衔接。

两室结构可能有效衰减传递到设备的振动，使运动平台所需功夫降低，并且固有频率更低。

如需较高的水平度，可将精密调平阀（±0.05mm）安设在减振器上，减振机能更好。

在THS4系列减振器上能够装置内置型油阻尼，搭载运动平台的设备稳按功夫得以缩减，减振器刚性提升。

产品用处：

光学设备、检测设备、半导体设备、探针台